石墨于半导体制造应用：不可或缺的关键材料

等静压石墨在半导体制造中的关键应用离子注入是半导体制造中的关键工艺之一，等静压石墨在离子注入机中主要用于制造以下部件：外延工艺是半导体器件制造中的重要环节，等静压石墨在外延炉中主要用于制造以下部件：